축전 결합형 방전(Capacitively coupled discharge)은 직류 글로우 방전(DC glow discharge)과 유사하게 작동합니다.  두 가지 모두 전극에
 적용된 전압에 의한 전기장에 의지하여 자유 이동 전자들을 가속화시켜 뉴트럴 내의 결합 전자들을 분리합니다.  그러므로, 이들을
 유도 결합형 방전(H-discharge" (inductively coupled discharge)과 비교해서 E-discharge라고 분류합니다.   직루 방전( DC discharge)과
 달리, 축전 방전에는 고정된 음극, 양극이 없습니다.   대부분의 자유 이동 전자들(free-moving electrons)은 전,후로 진동합니다.
 이들은 전극에 의해 흡수될 확율은 낮고, 뉴트럴 파티클을 이온화시킬 확율은 높게 됩니다.  그러므로, 축전 방전은 직류 방전에 비해서
 높은 이온화 효율을 나타냅니다.