직류 글로우 방전(DC glow discharge)에는 고정 음극과 양극이 있습니다.  전자는 음극에서 양극으로 가속화되어 지고, 더 많은
 에너지를 얻게 됩니다.  양극을 따라서 전자는 다른 이온들과 뉴트럴들과 많은 충돌을 경험합니다.   충격이 일어나는 동안 전자들은
 그들의 에너지를 이온과 뉴틀러 내의 결합된 전자들에거 전달합니다.   일단 전기장의 세기가 어느 수준에 달하면,  자유 이동 전자들
 (free-moving electrons)은 충분한 에너지를 얻어 뉴트럴 파티클들로부터 결합된 전자들을 분리할 수 있습니다.   벌렌치 브레이크다운
 (avalanche  breakdown will)과 비슷한 공정이 가스 챔버에서 발생합니다.   전자와 이온의 밀도는 증가되고 긍극적으로 전체 공간은
 양이온,  음이온, 전자 등으로 채워집니다.   때때로 히팅된 피라멘트는 음극으로 이용되어 지속적인 자유 전자 흐름을 방출하여
 플라즈마를 가동을 돕고 안정성을 향상시킵니다.   불행히도, 히팅된 필라멘트로부터 증발되는 금속은 때때로 샘플을 오염시킬 수
 있습니다.   플라즈마를 발생시키는데 필요한 양극과 음극 사이의 최적의 접압 범위가 있습니다.  만약,  저납이 너무 낮으면,
 자유 전자는 뉴트럴을 이온화시킬 수 있는 충분한 에너지를 갖지 못합니다.   안약, 전압이 너무 높으면, 전자는너무 빠르게 이동하여
 뉴투럴과의 어떤 충돌도 피하게 됩니다.   적정 전압 범위는 가스 스페시즈와 압력의 하나의 기능입니다.