미국 PIE Scientific사의 탁상형 진공 플라즈마 클리너, 원격 플라즈마 시스템

독일 Relyon Plasma사의 대기압 플라즈마: 핸디형, 반자동, 자동 시스템

 
 

 

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 - 탁상형 플라즈마 클리너 -

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 - 대기압 플라즈마 모델 - 

Bullets033.gif PiezoBrush(PZ2, PZ2-i): 미니 핸디형 대기압 플라즈마, 수동/자동 모델

Bullets033.gif PlasmaTool: 고성능 공업용 핸디타입 대기압 플라즈마 처리기

Bullets033.gif PlasmaBrush(PB3, P300): 고성능 대기압 플라즈마 처리기, 수동/자동 모델

 

 

플라즈마 클리너 선택시 중요한 고려 사항 :  왜 Tergeo를 선택해야 하는가 (특.장점) ?

 

1. Plasma discharge method (플라즈마 방전 방식) 

Tergeo - 2가지 플라즈마 방전 방식 채택 Capacitive coupling for direct mode plasma source, 
     inductive
 coupling for
 remote plasma source. Capacitive coupling with external electrode provide 
     uniform
 plasma across the
whole chamber. Inductive coupling provide efficient plasma discharge 
     where
 uniformity is not a
concern. Unique dual plasma source design: Remote and direct mode in one system.

 

2. Uniformity (뛰어난 플라즈마 균일성)

Tergeo - 탁월한 플라즈마 균일성 : Excellent plasma uniformity across the whole chamber
     because of the 
capacitive coupling discharge technology with external rf electrodes.

 

3. Gas flow control (가스 유량 컨트롤: 별도의 가스 혼합기 불필요 !)

Tergeo - MFC 가스 입력 컨트롤, 통합 압력 센서 :
     Automatic
 MFC regulated gas input. Integrated pressure sensor.

 

4. Operation (플라즈마 클리너 작동방식: 전자동)

Tergeo - 전자동 공정 프로그램 작동, 공정 컨트롤 기술, 자동 임피던스 매칭, 60개 운영 프로그램 저장 :
     
Fully automatic recipe execution. Process control technology. Automatic impedance matching. Supports 60 recipes.

 

5. RF power (RF 파워: 0-75 / 0-150W 2종)

Tergeo - 폭 넓은 RF 파워  범위 : 0-150W 13.56MHz rf power, 연속적 RF 파워 조절, 자동 임피던스 매칭
     
0-~75Watt or 0-150W 13.56MHz rf power. Continuously adjustable rf power setting in recipe. 
     Automatic
 impedance 
matching.

 

6. Plasma sensor (플라즈마 센서: 유니크한 특허 정치)

Tergeo - 유니크한 플라즈마 센서 개발 (특허 출원) : 전자동 공정 실현에 기여 :
     
Unique plasma sensor. Intelligent plasma ignition technology helps the plasma cleaner

automatically find the best plasma ignition conditions, once the plasma ignites, system

automatically restore the recipe setting.

 

Tergeo 플라즈마 클리너로
Glass Slide를 처리하기
전과 후의 표면 특성 비교 동영상

 

 

 

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