미국 PIE Scientific사의 탁상형 진공 플라즈마 클리너, 원격 플라즈마 시스템

독일 Relyon Plasma사의 대기압 플라즈마: 핸디형, 반자동, 자동 시스템

 

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관련 자료

 

연 락 처

Generate oxygen, argon, nitrogen, hydrogen, CF4, SF6, ambient air, or other mixed gas plasma to ash photoresist, descum after patterning, etch silicon dioxide and nitride,
remove hydrocarbon and other surface contamination, change surface energy and improve the bonding strength. 

 

 

다인펜-Dyne Pen

  

 

 

(주)인텍써플라이는 미국 PIE Scientific사의 한국 독점 대리점입니다.


 
 

1. 탁상형 진공 플라즈마 클리너 & 에처,  원격 플라즈마 클리너...

Tabletop Plasma Cleaner, Etcher, Remote Plasma Sources, SEM/TEM sample & holder cleaning and storage solution...

 
 

 

 

 
 

PIE Scientific - 진공 플라즈마 클리너 & 에처 (made in USA)

탁상형 진공 플라즈마 시스템 4 모델, 원격(remote) 플라즈마 소스 및 컨트롤러 4 모델

하나의 플라즈마 시스템에 서로 다른 2개의 풀라즈마 소스(모드) 장착이 가능하여 다양한 실험.연구가 가능합니다 !

 

 

 
 

 1) 탁상형 전자동 진공 플라즈마 클리너 & 에쳐  -  4가지 모델,   보증기간 :  2

    Tergeo : Laboratory Plasma Cleaning & Etching, Surface Treatment     

 
   

                        

 

                             

 

 

Tergeo (모델명)

 

Tergeo Plus

RF Power Supply: 0-75W, 0-150W

 

RF Power Supply: 0-150W, 0-300W, 0-500W

Plasma cleaning, etching, ashing, descum, activation...
up to 4인치,  1W interval

 

Plasma cleaning, etching, ashing, descum, activation...
up to 4,  6인치,  1W interval

     
 
 

                        

 

                             

 

 

 

Tergeo Pro

 

Tergeo-EM

RF Power Supply: 0-150W, 0-300W, 0-500W

 

RF Power Supply: 0-150W (1W interval, ~ 4인치)

Plasma cleaning, etching, ashing, descum, activation...
up to 4,  6,  8인치,  1W interval

 

Plasma cleaning and surface activation for
cryo-EM, TEM and SEM samples, grids and holders...

     
     

   

 

   

 

     (Applications -응용분야)

 
 
 

     (특.장점)

다양한 플라즈마 공정 수행 가능 : 플라즈마 표면  ①클리닝  ②처리(개질)  ③에칭  ④에싱  ⑤디스컴  ⑥멸균....

SmartClean™ technology - 완벽한 플라즈마 공정을 원하시면 PIE사의 전자동 진공 플라즈마 클리너를 선택하세요 !

 

가장 진보된 탁상형 진공 플라즈마 클리너로서, 초보자도 쉽게 운영하실 수 있는 전자동 모델입니다.

 

초보자도 신뢰할 수 있는 유효한 데이터를 쉽게 반복적으로 얻을 수 있습니다 (Nature 포함 다수의 논문, 기술자료에 장비명 언급)
 

20개까지 공정 프로그램(Recipe)을 저장하여 사용할 수 있습니다 : 표준 레시피 제공 및 관련 자료 제공

Tergeo 시리즈 4모델: Tergeo Basic,  Tergeo Plus,  Tergeo Pro,  Tergeo-EM(in-situ TEM, Cryo-EM, SEM, grid, holders...)

하나의 플라즈마 시스템에 2가지 플라즈마 모드(소스) 사용 가능 (①직접 침전(Direct)  ②원격 하향 모드(Remote-옵션) :  

 

다양한 어플리케이션 대응...Tergeo 플라즈마 장비(direct + downstream gentle mode + pulse mode + plasma intensity sensor)

 

타 장비에서는 어려운 2D 물질 연구, 파우더 샘플, 민감한 부품.소재에도 적합합니다 - 원격 하향 모드(Remote-옵션) :

 

(예) thin oxide, ESD sensitive devices, anti-reflective coating, graphene, nanotube nanoparticles,

 

      DLC (diamond-like carbon), carbon fiber, or holey carbon grid for TEM....

 

알루미늄 챔버가 아닌 석영 챔버 채택으로 다양한 장점을 가진다 :

 

1) 고전압 RF 전극이 챔버 외부에 위치하여 장비가 컴팩트하게 디자인 된다.

 

2) 고전압 RF 전극이 챔버 외부에 위치하여 균일성을 높일 수 있다.

 

3) 고전압 RF 전극이 챔버 외부에 위치하여 메탈 오염도를 줄일수 있다.

 

4) 고전압 RF 전극이 챔버 외부에 위치하여 RF 전극을 히팅하지 않는다.

 

 

   (자사의 quartz 챔버 내부의 플라즈마 사진)         (타사의 저가형, 구형 모델: 알루미늄 챔버+챔버 내의 전극 위치)

고전압 RF 전극 (0-75 watt or 0-150 watt or 0-300 watt or 0-500 watt, 13.56MHz-가장 이상적인 MHz,

 

automatic impedance matching) 채택.

펄스 모드 작동 (pulse mode operation) : 고압, 낮은 파워에서 플라즈마 점화.

 

플라즈마 세기 센서(미국 특허 획득), 3-recipe job sequence 기능, 기타 첨단 기능들이 탑재되어 있습니다.

2개의 공정 가스 라인 내장 (2xMFCs: 0~100 sccm)- 1x가스라인 추가 가능(옵션),  7인치 산업용 터치 스크린 컨트롤.

  가스 믹서 (gas mixer)가 필요치 않습니다 !

다양한 유용한 옵션 장치들 :  room air dust particle filter set,  adjustable external flow rate control valve,
  water vapor delivery kit, ...

사용이 쉬운 intuitive 프로그램, Smart 자체 진단 프로그램 탑재  - 보증 기간 : 2 (년)

 

공정 각 단계에 대한 설명, 주요 부품들을 지속적으로 모니터링하고, 팝업 창으로 내용을 전달합니다.

 

특허 획득(미국): 터보 방전 플라즈마 소스 디자인 기술 외 다수 !

다양한 국제 인증 획득 : TUV, UL, SA, CE, IEC, IECEE

최신 모델(Tergeo-EM) 출시: All in One 모델 : 일반 플라즈마 표면 클리닝, 에칭, 표면 처리 기능은 물론이고,

 

TEM/SEM 샘플의 플라즈마 클리닝, 동시에 2개의 TEM 샘플 rod(옵션:4개까지) 처리, Cryo-EM, Hydrophillic...등에 효과적임.

RS232 통신포트가 있어, 케이블 연결로 PC와 연동 가능하고, 실리콘 밸리 본사로부터의 원격 솔루션, 화상(Skype) 통화,

 

PC log-on, log 전송 등의 다채널 원격 지원이 가능합니다 !

실리콘 밸리의 세계적인 기업들, Apple/Google/Intel/Amazon, NASA, NIH, Harvard, Berkeley, MIT, HITACHI, JEOL,

 

국내 서울대(유전공학연구소, 화학부), 연세대, 고려대, 공주대, 인제대, WISTEK, 삼영순화, UNIST, KIST, GIST, 부산대,
한국기술교육대, 한양대, 성균관대, 아주대, 동우화인켐, 전북대, 충남대, ADD
,.....사용하시는 최고 성능의 제품입니다.

   
   
   
   

 2) 원격 플라즈마 시스템 :  Remote Plasma Sources & Controllers

        (4가지 모델)  원격 플라즈마 소스 (연구장비 챔버에 장착) + 컨트롤러

 

 

   

 

             

             

               

             

            

모델: EM-Kleen

Semi-Kleen-Q

Semi-Kleen-S

UHV Chamber용 Button_new004.gifr

Controller

Controller

(plasma source)

(plasma source)

(plasma source)

(plasma source)

 

 

 

 

 

 

 

 

           

 

    (Applications - 응용분야)

 

박막 증착, 표면 분석
Thin Film Deposition & Syrface Analysis

반도체 장비 오염 제거(CD-SEM, EBR, EBI, EUVL)
Semiconductor Inspection, Review, Metrology

In-situ SEM, TEM, FIB 샘플 클리닝
Sample Cleaning for SEM, TEM FIB

 

 

차세대 리소그래피(NGLs) 장치-Next Generation Lithography(NGLs) System

XPS, SIMS, AES의 오염 제거-Hydrocarbon Contamination Removal on XPS, SIMS, AES

Plasma clean Ultra-High 진공 챔버
Plasma Clean Ultra-High Vacuum Chamber

 

 

     

 

 

원격 플라즈마, 챔버 장착형 : (4 모델: EM-Kleen,  SEMI-Kleen-quartz  &  sapphire, UHV챔버용)는 반도체장비,

 

연구장비 챔버(Remote plasma cleaner for SEM, FIB, XPS, ALD, EUVL and other high vacuum chambers.)에

 

장착하여 원격으로 사용하는 제품들입니다.   작지만 스마트하고 강력한 원격 하향식 플라즈마 클리너 -

 

Small, yet smart and powerful downstream plasma cleaners !

 

 

 

 

 

 

           before             /                     after

before                 /                after

 

 

 
 


PIE Scientific 社는 플라즈마 소스(plasma sources) 개발과 그 응용 분야인 플라즈마 에칭(etching),
샘플 표면 개질(sample surface modification), 오염물 제거(contamination removal), 이온 & 전자 빔
(ion and electron beam) 등의 제품을 개발하는 전문성을 갖춘 회사입니다.
PIE는 Plasma(플라즈마),
Ion(이온),
E
lectron(전자)를 의미합니다. 제조사의 설립 취지는 반도체, 원자력공학 분야에서 개발된
최신의 플라즈마 기술을 연구단체에 적용가능한 플라즈마 장비로 개발.생산하는 것으로 Lawrence
Berkeley National Laboratory
의 '플라즈마, 이온 소스 기술 그룹'의 동문을 주축으로 설립되었습니다.
최첨단 전자동 플라즈마 클리너, 플라즈마 처리장치, 이온 소스, 기타 관련 부품 등을 반도체 장비 제조사,
전자현미경 제조사, 기타 저희 제품을 필요로하는 제조사에 OEM 공급을 하고 있으며, 엔지니어링
디자인과 기술적 역량에 자부심을 갖고 소비자가 100% 만족하실 수 있도록 최선을 다 하고 있습니다.

 
 
     

 -  최신 소식  - 관련 전시회 컨퍼런스 참여, TEM rod storage system 출시, 터보 방전 기술 특허 승인.

Marketing update

PIE Scientific LLC had presented our product at the Microscopy & Microanalysis 2019 conference and tradeshow in Portlan Oregan. This has been the fouth year since we participated M&M in 2016. We will also be present at the ISTFA 2019 tradeshow and conference on November 10th-14th.   08/06/2019

New product release

PIE Scientific LLC released TEM sample rod storage system at the Microscopy & Microanalysis 2018 (M&M2018) conference & tradeshow. Our TEM storage system can individually vent and pump each storage cells. Total 6 storage cells per system. 08/06/2018

Patent approval

Our Turbo Discharge™ plasma source design technology has been approved by US patent office. (Patent number: US9997335B2) Turbo Discharge™ technology can significantly improve the plasma efficency at low pressure range and increase the production rate of radical species for downstream etching application.  03/26/2018

 

 

 

( 국내.외 주요 소비자 리스트 - Valuable Customers )

 

연세대학교

국립공주대학교

인제대학교

WISTEK

Hermes Microvision Korea

삼영순화

UNIST

한국기술교육대학교

고려대학교

서울대학교 (유전공학) : Tergeo-EM

한양대학교

동우화인켐

부산대학교 (의과대학) :  Tergeo-EM

전력연구원

성균관대학교

아주대학교

KIST (NRG)

ESOL (EUVL): SEMI-Kleen

전북대학교

충남대학교

단국대학교

GIST - MSE

e-sense

제주대학교

ADD

SAMSUNG

 
 
 
 
 
 
 
 
 

2. 세계 최소형 핸디형의 대기압 저온 플라즈마, 공업용 플라즈마...

 
 

                           

Relyon Plasma  -  대기압 플라즈마 : made in Germany

2002년 설립된 독일의 플라즈마 기술 전문 업체로서, TDK의 자회사입니다.

  

Surface Activation / Cleaning/Printing / Varnishing / Adhesion Improvement / Disinfection...

 

대기압 플라즈마에 대해서

 

동영상모음

처리 가능 소재 : Metals, metal alloys - Plastics and composites - glass, ceramics, inorganic composites,

 

natural stone - natural leather, imitation leather - natural fibre, wood, paper - 신소재.희귀소재는 사전 테스트 필요.

제품 형태에 관계없이 처리 가능 :

 

매우 정밀한 부위, 등고선, 3D, 케이블.튜브, 얇은 섬유.필라멘트, 파우더, 기공.개기공 있는 표면, 넓은 표면....

 
     

   1)  PZ3 / PZ3-i (모델) :  동급 세계 최소형 핸디형 대기압 저온 플라즈마 표면 처리기  !

                                   

       
       

PZ3

PZ3

PZ3-i

PZ3-i

 

↓  다양한 모듈로 다양한 실험 가능 !

표준(비전도성) 모듈

전도성 모듈

멀티 가스 모듈

nearfield needle-출시예정

니들형 모듈

PZ3 (모델) : 핸디형 소형 상압 저온 플라즈마 처리기 - 동급 최소형 !

 

       핸디형 초보자용 모델로서 저 예산으로 다양한 연구.실험, PP, 다품종 소량 생산 등의 공정 수행:

 

       장소(실험실/사무실/실외...)에 관계없이 전원만 있으면 사용 가능합니다.

PZ3-i : 데스크탑 로봇, 자동/반자동 시스템에 통합하여 사용 가능한 인라인 모델: 2022년 신제품 Button_new004.gif  

 

PDD (Piezoelectric Direct Discharge) 기술 기반의 세계 최소형 대기압 저온 능동 플라즈마 모델

   소비자 리스트 : 삼성전기, 서울대, 경희대, 원드롭, 플람, 다이텍연구원, 한국전자통신연구원, KETI, ....

 
 

( 국내 주요 소비자 리스트 - Valuable Customers )

 

경희대(치과대학)

원드롭

플람

다이텍연구원

SNVIA

한국전자통신연구원

SAMSUNGSEM

유니폴리

KETI

순천대학교

서울대학교

KIER

호서대학교

KIST

티센바이오팜

DGIST

LG전자

GIST

SP2TX

성균관대학교

KAIST

DENQ

SAMSUNG

랩서치

삼성전기

 
 

 
 

    2)  PlasmaTool (모델) :   캐리어 타입의 고출력 공업용 수동 모델

   

모델: PlasmaTool: PAA 기술 기반의 핸디형 고출력.고성능 공업용 플라즈마 모델 :
녹/페인트 제거, 페인팅/바니싱 전의 표면 클리닝, 표면 활성화, 복원, 인테리어분야...

Industrial Cleaning & Stripping : 캐리어 타입으로 이동이 쉽고 1인 작업 가능 !
빌트-인 통합 컴프레서
가 있어  외부 가스 공급이 필요치 않다.

 

 


 

    3)  MediPlas (모델) :   Reactor & Driver

   

모델: PlasmaCell(P300): PAA 기술 기반의 고출력.고성능 자동 플라즈마 모델 :

Stand-alone type : All in One : PlasmaBrush를 기반으로 자동화에 통합된 자동 시스템 !

 

 

 

 
 
 
 
 
 

 

 

3. 관련 제품들 - 표면 에너지(장력) 측정 다인펜/잉크, 접촉각 측정기

 
 
 
 

 

 

                       

 

다인펜.잉크

 

접촉각 측정기

     

 

     
     

표면에너지(장력, 청결도) 측정 펜/잉크

 

포터블 광학 접촉각측정기

     
 
 
 
 
 

 

 

 

  한국대리점 :  (주)인텍써플라이   서울시 강동구 양재대로 97길 24(2층) (우: 05375),  /  TEL) 02 487-8782  /  Fax) 02-487-8784  /   

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