미국 PIE Scientific사의 탁상형 진공 플라즈마 클리너, 원격 플라즈마 시스템

독일 Relyon Plasma사의 대기압 플라즈마: 핸디형, 반자동, 자동 시스템

 
 

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Bullets033.gif PZ3: 미니 핸디형 대기압 저온 플라즈마, 수동/자동 모델 (PZ3-i)  

Bullets033.gif PlasmaBrush(PB3, P300): 고성능 대기압 플라즈마 처리기, 수동/자동 모델

Bullets033.gif PlasmaTool: 고성능 공업용 핸디타입 대기압 플라즈마 처리기

 

 

 
 
   

 
 
 
 
 

    (주요 적용 분야)

 

박막 증착, 표면 분석

반도체 검사, 리뷰, 계측

SEM, TEM, FIB 샘플 클리닝

 

 

차세대 리소그래피(NGLs) 장치

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Plasma clean Ultra-High 진공 챔버

 

 

 
 
 

하향식 진공 원격 플라즈마 클리너 (모델 : SEMI-KLEEN sapphire)