미국 PIE Scientific사의 탁상형 진공 플라즈마 클리너, 원격 플라즈마 시스템

독일 Relyon Plasma사의 대기압 플라즈마: 핸디형, 반자동, 자동 시스템

 
 

 

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Bullets033.gif PiezoBrush(PZ2, PZ2-i): 미니 핸디형 대기압 플라즈마, 수동/자동 모델

Bullets033.gif PlasmaTool: 고성능 공업용 핸디타입 대기압 플라즈마 처리기

Bullets033.gif PlasmaBrush(PB3, P300): 고성능 대기압 플라즈마 처리기, 수동/자동 모델

 

 

탁상형 전자동 진공 플라즈마 클리너 (모델 : Tergeo-plus)

 

 

  Tergeo-plus 장비의 특징
  • tergeo 모델 대비 커진 샘플 챔버의 직경 사이즈로 (직경: 160 mm, 깊이280 mm(동일) 4인치 웨이퍼 보트(wafer boat),
    6인치 웨이퍼 처리 가능
  • 클리닝 모드 : a) 침전 방식 클리닝(Immersion plasma cleaning)은 고속 에칭과 표면 개질에 사용하고,  b) 원격방식은
    (remote plasma cleaning) 섬세한 표면 요염 제거, 예를 들어, SEM/TEM 샘플 클리닝에 사용합니다.  c) 펄스 작동은 0.5watt
    이하의 RF 파워로 매우 섬세한 샘플의 클리닝에 사용합니다.
  • 장비 운영 방식 : 전자동 방식, 자동 순차적 방식, 수동 방식 모두 선택.사용이 가능합니다.
  • 플라즈마 센서 : 특허 출원된 듀얼 플라즈마 세기 센서(dual plasma strength sensor - patent pending)로 플라즈마 소스를
    현장과 원격으로 모니터링 할 수 있고 LCD 터치스크린에 실시간 표시됩니다.
  • 진보된 프로세스 컨트롤 기능들 : 압력 센서, 온도 센서, 가스유량계(MFC), 듀얼 플라즈마 세기 센서, 자동 임피던스 매칭 (pressure
    sensor, temperature sensor, gas flow rate meters in MFC, dual plasma strength sensors, automatic impedance matching)
  • 챔버 재질 : 알루미늄 플렌지, 두터운 고순도 석영 튜브 채택으로 내화학성이 높고, Ca, K, Na 과 같은 알카리성 불순물이 낮다.
  • 석영 챔버 사이즈 : 내경: 160mm(6인치); 외경: 170mm; 깊이 290mm
  • 샘플 홀더 : 2mm 두께의 고순도 석영 플레이트
  • RF 안테나 : 외장형 RF 전극과 안테나 채택으로 내장형인 제품에 비해 메탈 스퍼터링을 감소실킬 수 있습니다. 
  • RF 파워 : 13.56MHz 고주파 RF 파워 써플라이에 자동 임피던스 매칭 기능은 현장 플라즈마 소스에 사용됨(0-75watt, 0-150watt). 13.56MHz RF 파워는 KHz 파워에 비해 매우 높은 고밀도의 플라즈마를 생성합니다.
  • 가스 라인 : 기본 2개의 MFC(추가 1개 사용 가능 (0~100sccm: 총 3개) + 하나의 배기 및 퍼징 포트(¼ inch Swagelok 커넥터)
  • 사용자 인터페이스 : 7 인치 터치 스크린
  • 프로세스 저장 및 단계 : 최대 60 프로세스(recipes) 저장.사용, 각 프로세스별 3 단계 순차적 작업 가능

 

  Tergeo-plus 장비의 사용 분야

 

  Tergeo-plus 장비 설치.사용에 필요한 사항

  • AC 전원(AC input) : 110V~230V universal AC power input support
  • 진공 펌프 연결 포트 : NW/KF25
  • 최소 펌핑 스피드 : 1 cfm
  • 최대 진공압 : 200mTorr 이하

 

  타사 제품 대비 Tergeo-plus 장비의 장점

  • 미국 캘리포니아 주에 있는 로런스 버클리 국립연구소(Lawrence Berkeley National Laboratory)의 플라즈마 이온 소스 연구원
    그룹의 기술을 바탕으로 개발.생산된 가성비가 우수하고 신뢰성이 높은 제품입니다.
  • 특허 출원된 플라즈마 센서 기술(plasma sensor technology)이 적용되어 플라즈마 힘의 측정(plasma strength measurement)이
    가능하여 연구 목적 및 생산에 중요한 장비의 반복 운영시 일률적인 양적 자료(quantitative data)를 얻을 수 있습니다.
  • 하나의 장비로 2가지 방식, 직접 투입 방식(direct immersion mode)과 하향식 방식(downstream mode),의 플라즈마 클리닝
    작업이 가능합니다.  또한 플라즈마 클리닝 이외에 플라즈마 에칭, 표면 처리 등의 작업도 가능합니다. 
  • 장비 운영자의 편리를 위해 이해하기 쉬운 터치스크린 인터페이스 방식의 시스템을 채택하였고, 진보된 프로세스 운영 기술
    (plasma sensor, digital pressure sensor, automatic MFC regulated gas flow control)
    등을 바탕으로 전자동 운영
    (fully automatic operation)
    이 가능합니다.   처음 장비가 세팅 완료되면 작업자에 상관없이
    최적화된 장비 운영이 가능하고,
    20개까지 소비자 운영 프로그램 저장이 가능하여 다양한 조건의 작업을 할 수 있습니다.

침전 모드(immersion mode)

원격 모드(remote mode)

  • 장비 운영자의 편리를 위해 이해하기 쉬운 터치스크린 인터페이스 방식의 시스템을 채택하였고, 진보된 프로세스 운영 기술
    (plasma sensor, digital pressure sensor, automatic MFC regulated gas flow control)
    등을 바탕으로 전자동 운영
    (fully automatic operation)
    이 가능합니다.   처음 장비가 세팅 완료되면 작업자에 상관없이
    최적화된 장비 운영이 가능하고,
    20개까지 사용자 프로그램 저장이 가능하여 다양한 조건의 작업이 가능합니다.

Touchscreen controller and intuitive user interface

  • Pulsed Operation

Pulsed mode operation can ignite plasma at high pressure with lower average power.

 

  PIE 사의 플라즈마, 이온 소스의 기술적 배경 - Plasma & Ion Source Technology

 

Many of the technologies developed by IBT are built upon a core concept that we have been developing since our days in
magnetic  fusion energy in the mid 1980s: a compact, efficient ion source in which a plasma is heated by radiofrequency energy
and confined by a multicusp magnetic field. This highly scalable concept has been used for many purposes.

10x10 extraction array for the fast-fall-off neutron source

A beam falltime quicker than 1 microsecond has been demonstrated. This sharp end of the beam pulse is needed for differential
die-away analysis.   Among our current development projects is a compact, highly portable neutron generator. To reduce its size
and power consumption, advanced permanent magnets create the plasma-confining multicusp magnetic field, and the plasma is
heated with microwaves (from a simple magnetron) rather than the usual medium-wave rf energy. Potential applications include
neutron activation  analysis and detection of explosives and nuclear threats using active interrogation. Thus far we have measured
a current density of  20  mA per square inch, and are planning for sealed-tube deuterium-deuterium neutron production tests;
we expect 107 to 108  neutrons per second.  Another security- and nonproliferation-related work in progress is a fast-fall-time
neutron generator.  Its output  can be cut from full to nearly zero within ten microseconds, with a repetition rate as fast as
10 kHz. A low extraction voltage (-400 V) is the key to the fast fall time; a 10 x 10 array of extraction apertures achieves sufficient
beam current in spite of this. This fast fall time  lends itself to an analysis scheme called "differential die-away" for examining
the contents of nuclear-waste containers.

10x10 extraction array for the fast-fall-off neutron source

The 10 x 10 emitter array allows adequate beam current to be extracted from the ion source even when the extraction voltage is
kept  low to ensure rapid falloff.  A new variant on our rf-driven multicusp ion source, now in development, has the potential to
supply as  much as 60 mA of protons continuously rather than in pulses. To meet this challenging output specification, it uses a
planar, external  antenna rather than our traditional spiral internal antenna to couple rf power into the plasma; and employs
water-cooled permanent  magnets. Thus far it has produced 130 mA/in2 with 2 kW of input power.

 
 
 
 

 

TEM sample storage system - TEM 샘플 저장 시스템

 

 

TEM specimen holder vacuum pumping station for Thermo-Fisher (FEI), JEOL, Hitachi and Zeiss TEMs

 

TEM specimen holder vacuum pumping station can store up to six TEM specimen holders under the vacuum condition to help the sample and holder outgas, remove water condensation, and keep the specimen and the holder clean. It can also be used for leak check on the specimen holders

 

Features:

1) Total six storage cells per unit

2) Each storage cell can be indivudually pumped or vented using solenoid valves. The remaining cells can still be kept under the vacuum when one of the holders is taken out.

3) Multiple storage systems can be chain linked to share a same vacuum pump. It can also share the same vacuum pump with the Tergeo-EM system.

4) It can be pumped by an oil-free dry scroll pump or by a turbo pump station.

5) The vacuum pump is separated from the storage station, easy to maintain and service the pump if necessary.

6) All metal tubes under the vacuum to minimize the outgas, thus reduce the contamination.

7) The stabilized operation temperature is slightly higher the room temperature, which helps the specimen holder outgas faster.

 

 

한국대리점 :  (주)인텍써플라이   서울시 강동구 양재대로 97길 24(2층) (우: 05375),  /  TEL) 02 487-8782  /  Fax) 02-487-8784