미국 PIE Scientific사의 탁상형 진공 플라즈마 클리너, 원격 플라즈마 시스템

독일 Relyon Plasma사의 대기압 플라즈마: 핸디형, 반자동, 자동 시스템

 

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Bullets033.gif PiezoBrush(PZ2, PZ2-i): 미니 핸디형 대기압 저온 플라즈마, 수동/자동 모델

Bullets033.gif PZ3: 미니 핸디형 대기압 저온 플라즈마, 수동 모델   Button_new004.gif

 

Bullets033.gif PlasmaTool: 고성능 공업용 핸디타입 대기압 플라즈마 처리기

Bullets033.gif PlasmaBrush(PB3, P300): 고성능 대기압 플라즈마 처리기, 수동/자동 모델

 

 

 
 
 
 

탁상형 전자동 진공 플라즈마 클리너 (모델 : Tergeo-EM)

 

 

 


Tergeo-EM
: SEM/TEM 샘플, 그리드, 홀더 등의 플라즈마 클리닝, 표면 활성화


TEM Sample Storage System

 

 

     Tergeo-EM 플라즈마 클리너 모델은 일반적인 시료의 플라즈마 세정은 물론, SEM/TEM 샘플 세정용으로 개발된
    스페셜 모델입니다.  석영 재질의 석영 윈도우를 스텐레스 재질 아답터로 변경하여 서로 다른 브랜드의 TEM 샘플 로드
    (sample rods)를 쉽게 교환.수용할 수 있도록 하였습니다.   핀-마운트 SEM 샘플 홀더를 내부의 석영 플레이트에 놓고
    세정을 할 수 있습니다.  동시에 2개의 상이한 TEM Sample Holder를 수용할 수 있습니다.

 

  Tergeo 장비의 사용 분야

대부분의 SEM 사용자는 SEM 영상의 어두운 번 마크(dark burn mark)에 친숙할 것입니다.  이러한 마크는 전자 빔 유도 탄화수소의
증착입니다.   카본 요소에 대한 낮은 2차 전자(SE) 수율로 탄화수소가 코팅된 표면은 청결한 표면에 비해 어둡게 나타납니다.  특히,
상대적으로 낮은 랜딩 에너지(1000eV)에서 SE (secondary electron) 이미지에서 나타납니다.   샘플 표면의 탄화수소 오염은 낮은 랜딩
에너지에서 물질의 대비를 낮추고, 고해상도 FE-SEM의 해상도를 저해시킵니다.   고해상도 FE-SEM 영상을 유지하기 위해서는 샘플
표면의 오염원을 제거하는 것이 매우 중요합니다.

  •  영상 전에 TE/SEM샘플의 탄화수소 오염 제거.
  •  STEM 영상후 카본 증착 제거.
  •  cryo-EM의 TEM 그리드에 대한 친수성 만들기.
  •  유기오염물 제거, SEM/TEM chip 활성화, 리퀴드 셀 표면 친수성만들기.
  •  다양한 SEM/TEM 브랜드/모델에 적용 가능: Support Thermo-fisher (FEI), JEOL and Hitachi specimen holder,
                                                                                    cryo-em autoloader cassette, SEM stud and regular TEM grids on any holders
  •  

     

      Tergeo-EM 장비의 특징

    Tergeo-EM plasma cleaner 모델은 유일하게 하나의 세정기로 침전(immersion) 모드와 원격 하향식(downstream remote) 모드 2가지 모드
    사용할 수 있는
    TEM/SEM 플라즈마 클리너
    입니다.  하향식 플라즈마(Downstream  plasma)는 샘플의 이온 증착을 완벽하게 제거할 수 있으며,
    민감한 샘플 처리를 위해서 극단 플라즈마 펄스(extremely short  plasma pulses)를 생성할 수 있고,  특허 출원된 플라즈마 센서 기술
    (Patented
    plasma sensor technology)로 실시간 플라즈마 세기를 모니터링 할 수 있어서 사용자께서 다양한 샘플에 최적의 사용자 조건을
    세팅할 수 있도록 도와줍니다.
      타 장비에서는 어려운 2D material research에도 적합합니다.
    석영 챔버 사이즈
    : 내경: 110mm(4인치); 외경: 120mm; 깊이 280mm

    Tergeo-EM 모델은 심하게 오염된 전자 광학 컬럼(electron optics column)의 어퍼쳐(apertures)와 전극(electrodes)의 고속 세정부터
    세밀한 세정이 필요한 샘플(graphene, carbon nanotube, DLC (diamond-like carbon), carbon fiber or  TEM samples on holey carbon grid)
    까지 사용자가 필요로 하는 모든 세정 작업을 수행할 수 있습니다. . Tergeo-EM 모델은 오일없는 건식 펌프(oil free dry pump)를 사용하여
    산소 클리닝 서비스에 안전합니다.  일반적으로 SEM/TEM 샘플 세정 공정에 공기, 또는  80%Ar+20%O2 혼합 가스를 사용할 수 있습니다.
    2, 3개의 MFC 포트가 있어, 가스 혼합기 사용이 필요치 않습니다.  Cryo-EM에 효과적임.

     

     

     

     

      관련 제품  

     
     

    다인펜.잉크

     

    접촉각측정기

     

    접착제