미국 PIE Scientific사의 탁상형 진공 플라즈마 클리너, 원격 플라즈마 시스템

독일 Relyon Plasma사의 대기압 플라즈마: 핸디형, 반자동, 자동 시스템

 
 

 

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Bullets033.gif PlasmaTool: 고성능 공업용 핸디타입 대기압 플라즈마 처리기

Bullets033.gif PlasmaBrush(PB3, P300): 고성능 대기압 플라즈마 처리기, 수동/자동 모델

 

 

탁상형 전자동 진공 플라즈마 클리너 (모델 : Tergeo-EM)

 

   Tergeo-EM : TEM 샘플 로드(TEM sample rod),  SEM 샘플(SEM sample) 세정

 

    Tergeo-EM 플라즈마 클리너 모델은 일반적인 시료의 플라즈마 세정은 물론, SEM/TEM 샘플 세정용으로 개발된 스페셜 모델입니다.
    석영 재질의 석영 윈도우를 스텐레스 재질 아답터로 변경하여 서로 다른 브랜드의 TEM 샘플 로드(sample rods)를 쉽게 교환.수용할
    수 있도록 하였습니다.   핀-마운트 SEM 샘플 홀더를 내부의 석영 플레이트에 놓고 세정을 할 수 있습니다.

 

  Tergeo 장비의 사용 분야

대부분의 SEM 사용자는 SEM 영상의 어두운 번 마크(dark burn mark)에 친숙할 것입니다.  이러한 마크는 전자 빔 유도 탄화수소의
증착입니다.   카본 요소에 대한 낮은 2차 전자(SE) 수율로 탄화수소가 코팅된 표면은 청결한 표면에 비해 어둡게 나타납니다.  특히,
상대적으로 낮은 랜딩 에너지(1000eV)에서 SE (secondary electron) 이미지에서 나타납니다.   샘플 표면의 탄화수소 오염은 낮은 랜딩
에너지에서 물질의 대비를 낮추고, 고해상도 FE-SEM의 해상도를 저해시킵니다.   고해상도 FE-SEM 영상을 유지하기 위헤서는 샘플 표면의
오염원을 제거하는 것이 매우 중요합니다.

  • Removing hydrocarbon contamination on TEM and SEM samples before imaging.
  • Removing carbon deposition after STEM imaging.
  • Making TEM grid hydrophilic for cryo-EM applications. Unique gentle downstream mode and pulsed plasma can handle ultra-thin carbon
         and graphene grids without damaging the fragile grids
  • Removing organic contamination and activate in-situ TEM and SEM chip surface. Making liquid cell surface hydrophilic.
  • Support Thermo-fisher (FEI), JEOL and Hitachi specimen holder, cryo-em autoloader cassette, SEM stud and regular TEM grids on any holders
  •  

      Tergeo 장비의 특징

    Tergeo-EM plasma cleaner 모델은 유일하게 하나의 세정기로 침전(immersion 모드와) 원격 하향식(downstream remote) 모드 2가지 모드
    사용할 수 있는
    TEM/SEM 플라즈마 클리너입니다.  하향식 플라즈마(Downstream  plasma)는 샘플의 이온 증착을 완벽하게 제거할 수 있으며,
    민감한 샘플 처리를 위해서 극단 플라즈마 펄스(extremely short  plasma pulses)를 생성할 수 있고,
     특허 출원된 플라즈마 센서 기술
    (Patented
    plasma sensor technology)로 실시간 플라즈마 세기를 모니터링 할 수 있어서 사용자께서 다양한 샘플에 최적의 사용자 조건을
    세팅할 수 있도록 도와줍니다.   
    석영 챔버 사이즈 : 내경: 110mm(4인치); 외경: 120mm; 깊이 280mm

    Tergeo-EM plasma cleaner is the only TEM/SEM plasma cleaner that has integrated both immersion mode plasma cleaning (samples are immersed in plasma)
    and downstream mode plasma cleaning (samples are placed outside the plasma) in one system. Downstream plasma clean totally eliminate the ion sputtering of
    samples. In addition, unique pulsed mode operation can generate extremely short plasma pulses to further reduced the plasma intensity for delicate samples.
    Patented plasma sensor technology monitors the plasma strength in real time. It helps user to set up right cleaning recipe for different types of samples.
    Tergeo-EM plasma cleaner can meet all the requirements from high speed cleaning for heavily contaminated apertures and electrodes in electron optics column
    to gentle cleaning for samples like graphene, carbon nanotube, DLC (diamond-like carbon), carbon fiber or TEM samples on holey carbon grid.
    Tergeo-EM plasma cleaner is equipped with an oil free dry pump safe for oxygen service. Usually air or 80%Ar+20%O2 gas mixture can be used for
    SEM/TEM sample cleaning application. Two to three mass flow controlled gas delivery ports are available to mix multiple process gases.

     

    침전 모드(immersion mode)

    원격 모드(remote mode)

     

    Tergeo-EM 모델은 심하게 오염된 전자 광학 컬럼(electron optics column)의 어퍼쳐(apertures)와 전극(electrodes)의 고속 세정부터
    세밀한 세정이 필요한 샘플(graphene, carbon nanotube, DLC (diamond-like carbon), carbon fiber or  TEM samples on holey carbon grid)
    까지 사용자가 필요로 하는 모든 세정 작업을 수행할 수 있습니다. . Tergeo-EM 모델은 오일없는 건식 펌프(oil free dry pump)를 사용하여
    산소 클리닝 서비스에 안전합니다.  일반적으로 SEM/TEM 샘플 세정 공정에 공기, 또는  80%Ar+20%O2 혼합 가스를 사용할 수 있습니다.
    2, 3개의 MFC 포트가 있어, 가스 혼합기 사용이 필요치 않습니다.

     
     
     

    A better plasma system than Gatan Solarus plasma cleaner and Fishione 1070 plasma cleaner. Customers in many prestigous research institutes around the world have purchased our Tergeo-EM plasma system for cryo-EM, in-situ TEM, materials research and other type of high resolution electron microscopy applications. Tergeo-EM plasma cleaning system and TEM holder vacuum storage system have been well received by TEM & SEM users in Caltech, UC-Berkeley, UIUC, NIH, Harvard, EAG Laboratories, French National Centre for Scientific Research (CNRS), Max-Planck-Institut in Germany, University of LEES in UK, Tsinghua University in China, National University in Singapore, and so on. Many of our Tergeo-EM customers are former users of Gatan Solarus and Fishione plasma cleaners. They all think our Tergeo-EM plasma system and vacuum storage systme are much easier to use and are very versatile.

    .

    NIEHS Molecular Microscopy Consortium UC-Berkeley Cryo-EM lab The KAVLI Nanoscience Institute in Caltech
    Materials Research Lab Harvard University EAG Analytical Lab
    Max Planck Institute of colloids and interface University of LEED UK NEEL Institut CNRS France

     

     
     
     

    TEM sample storage system - TEM 샘플 저장 시스템

     

     

    TEM specimen holder vacuum pumping station for Thermo-Fisher (FEI), JEOL, Hitachi and Zeiss TEMs

     

    TEM specimen holder vacuum pumping station can store up to six TEM specimen holders under the vacuum condition to help the sample and holder outgas, remove water condensation, and keep the specimen and the holder clean. It can also be used for leak check on the specimen holders

     

    Features:

    1) Total six storage cells per unit

    2) Each storage cell can be indivudually pumped or vented using solenoid valves. The remaining cells can still be kept under the vacuum when one of the holders is taken out.

    3) Multiple storage systems can be chain linked to share a same vacuum pump. It can also share the same vacuum pump with the Tergeo-EM system.

    4) It can be pumped by an oil-free dry scroll pump or by a turbo pump station.

    5) The vacuum pump is separated from the storage station, easy to maintain and service the pump if necessary.

    6) All metal tubes under the vacuum to minimize the outgas, thus reduce the contamination.

    7) The stabilized operation temperature is slightly higher the room temperature, which helps the specimen holder outgas faster.

     

     

    한국대리점 :  (주)인텍써플라이   서울시 강동구 양재대로 97길 24(2층) (우: 05375),  /  TEL) 02 487-8782  /  Fax) 02-487-8784