미국 PIE Scientific사의 탁상형 진공 플라즈마 클리너, 원격 플라즈마 시스템

독일 Relyon Plasma사의 대기압 플라즈마: 핸디형, 반자동, 자동 시스템

 
 

 

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Bullets033.gif PiezoBrush(PZ2, PZ2-i): 미니 핸디형 대기압 플라즈마, 수동/자동 모델

Bullets033.gif PlasmaTool: 고성능 공업용 핸디타입 대기압 플라즈마 처리기

Bullets033.gif PlasmaBrush(PB3, P300): 고성능 대기압 플라즈마 처리기, 수동/자동 모델

 

 

탁상형 전자동 진공 플라즈마 클리너 (모델 : Tergeo-EM)

                       Tergeo-EM : TEM 샘플 로드(TEM sample rod),  SEM 샘플(SEM sample) 세정

 

    Tergeo-EM 플라즈마 클리너 모델은 SEM/TEM 샘플 세정용으로 개발된 스페셜 모델입니다.  석영 재질의 석영 윈도우를 스텐레스 재질
    아답터로 변경하여 서로 다른 브랜드의 TEM 샘플 로드(sample rods)를 쉽게 교환.수용할 수 있도록 하였습니다.   핀-마운트 SEM 샘플
    홀더를 내부의 석영 플레이트에 놓고 세정을 할 수 있습니다.

 

  Tergeo 장비의 사용 분야

대부분의 SEM 사용자는 SEM 영상의 어두운 번 마크(dark burn mark)에 친숙할 것입니다.  이러한 마크는 전자 빔 유도 탄화수소의
증착입니다.   카본 요소에 대한 낮은 2차 전자(SE) 수율로 탄화수소가 코팅된 표면은 청결한 표면에 비해 어둡게 나타납니다.  특히,
상대적으로 낮은 랜딩 에너지(1000eV)에서 SE (secondary electron) 이미지에서 나타납니다.   샘플 표면의 탄화수소 오염은 낮은 랜딩
에너지에서 물질의 대비를 낮추고, 고해상도 FE-SEM의 해상도를 저해시킵니다.   고해상도 FE-SEM 영상을 유지하기 위헤서는 샘플 표면의
오염원을 제거하는 것이 매우 중요합니다.

 

  Tergeo 장비의 특징

Tergeo-EM plasma cleaner 모델은 유일하게 하나의 세정기로 침전(immersion 모드와) 원격 하향식(downstream remote) 모드 2가지 모드
사용할 수 있는
TEM/SEM 플라즈마 클리너입니다.  하향식 플라즈마(Downstream  plasma)는 샘플의 이온 증착을 완벽하게 제거할 수 있으며,
민감한 샘플 처리를 위해서 극단 플라즈마 펄스(extremely short  plasma pulses)를 생성할 수 있고,
 특허 출원된 플라즈마 센서 기술
(Patented
plasma sensor technology)로 실시간 플라즈마 세기를 모니터링 할 수 있어서 사용자께서 다양한 샘플에 최적의 사용자 조건을
세팅할 수 있도록 도와줍니다.   
석영 챔버 사이즈 : 내경: 110mm(4인치); 외경: 120mm; 깊이 280mm

 

침전 모드(immersion mode)

원격 모드(remote mode)

 

Tergeo-EM 모델은 심하게 오염된 전자 광학 컬럼(electron optics column)의 어퍼쳐(apertures)와 전극(electrodes)의 고속 세정부터
세밀한 세정이 필요한 샘플(graphene, carbon nanotube, DLC (diamond-like carbon), carbon fiber or  TEM samples on holey carbon grid)
까지 사용자가 필요로 하는 모든 세정 작업을 수행할 수 있습니다. . Tergeo-EM 모델은 오일없는 건식 펌프(oil free dry pump)를 사용하여
산소 클리닝 서비스에 안전합니다.  일반적으로 SEM/TEM 샘플 세정 공정에 공기, 또는  80%Ar+20%O2 혼합 가스를 사용할 수 있습니다.
2, 3개의 MFC 포트가 있어, 가스 혼합기 사용이 필요치 않습니다.

 
 
 

 

TEM sample storage system - TEM 샘플 저장 시스템

 

 

TEM specimen holder vacuum pumping station for Thermo-Fisher (FEI), JEOL, Hitachi and Zeiss TEMs

 

TEM specimen holder vacuum pumping station can store up to six TEM specimen holders under the vacuum condition to help the sample and holder outgas, remove water condensation, and keep the specimen and the holder clean. It can also be used for leak check on the specimen holders

 

Features:

1) Total six storage cells per unit

2) Each storage cell can be indivudually pumped or vented using solenoid valves. The remaining cells can still be kept under the vacuum when one of the holders is taken out.

3) Multiple storage systems can be chain linked to share a same vacuum pump. It can also share the same vacuum pump with the Tergeo-EM system.

4) It can be pumped by an oil-free dry scroll pump or by a turbo pump station.

5) The vacuum pump is separated from the storage station, easy to maintain and service the pump if necessary.

6) All metal tubes under the vacuum to minimize the outgas, thus reduce the contamination.

7) The stabilized operation temperature is slightly higher the room temperature, which helps the specimen holder outgas faster.

 

 

한국대리점 :  (주)인텍써플라이   서울시 강동구 양재대로 97길 24(2층) (우: 05375),  /  TEL) 02 487-8782  /  Fax) 02-487-8784